- 对象基板尺寸:L610 × W610（上限）～ L50 × W50（下限）（单轨机型时）※支持L750mm长基板（选配）
- 相机像素:1,200万像素 / 2,500万像素
- 分辨率:1,200万像素 :12μm or 7μm or 5μm/2,500万像素:7μm or 5μm
- 上限3D测量高度:25mm
- 4方向斜视相机像素:2,000万像素
供应商: Yamaha Motor Co., Ltd.
型号: YRi-V
- 对象基板尺寸:L610 × W610（上限）～ L50 × W50（下限）（单轨机型时）※支持L750mm长基板（选配）
- 相机像素:1,200万像素 / 2,500万像素
- 分辨率:1,200万像素 :12μm or 7μm or 5μm/2,500万像素:7μm or 5μm
- 上限3D测量高度:25mm
- 4方向斜视相机像素:2,000万像素
供应商: Yamaha Motor Co., Ltd.
型号: YRi-V
- 对象基板尺寸:L610 × W610（上限）～ L50 × W50（下限）（单轨机型时）※支持L750mm长基板（选配）
- 相机像素:1,200万像素 / 2,500万像素
- 分辨率:1,200万像素 :12μm or 7μm or 5μm/2,500万像素:7μm or 5μm
- 上限3D测量高度:25mm
- 4方向斜视相机像素:2,000万像素
