- 對象基板尺寸:L610 × W610（上限）～ L50 × W50（下限）（單軌機型時）※支持L750mm長基板（選配）
- 相機圖元:1,200萬圖元 / 2,500萬圖元
- 解析度:1,200萬圖元 :12μm or 7μm or 5μm/2,500萬圖元:7μm or 5μm
- 上限3D測量高度:25mm
- 4方向斜視相機圖元:2,000萬圖元
供應商: Yamaha Motor Co., Ltd.
型號: YRi-V
- 對象基板尺寸:L610 × W610（上限）～ L50 × W50（下限）（單軌機型時）※支持L750mm長基板（選配）
- 相機圖元:1,200萬圖元 / 2,500萬圖元
- 解析度:1,200萬圖元 :12μm or 7μm or 5μm/2,500萬圖元:7μm or 5μm
- 上限3D測量高度:25mm
- 4方向斜視相機圖元:2,000萬圖元
供應商: Yamaha Motor Co., Ltd.
型號: YRi-V
- 對象基板尺寸:L610 × W610（上限）～ L50 × W50（下限）（單軌機型時）※支持L750mm長基板（選配）
- 相機圖元:1,200萬圖元 / 2,500萬圖元
- 解析度:1,200萬圖元 :12μm or 7μm or 5μm/2,500萬圖元:7μm or 5μm
- 上限3D測量高度:25mm
- 4方向斜視相機圖元:2,000萬圖元
