- 非破坏性内部坐标测量
- 1.5 MP CMOS 平面探测器
- 花岗岩底座确保热稳定性和机械稳定性
- 0.1 µm 精度的平稳高速定位
- 内部几何形状的无损测量
- XY测量范围选项：
710 mm x 660 mm (28英寸 x 24英寸)
1270 mm x 915 mm (50英寸 x 36英寸)
- 使用线性电机实现高速(500 mm/s)移动
- 2D测量，提供CNC和手动操作
- 光斑尺寸Ø5 µm，20 - 90 kV X射线源，用于高分辨率图像
- 稳定的花岗岩底座，确保高精度和可重复性
- 符合人体工学的工作台，操作简单方便
- 先进的、功能丰富的MetLogix® M3测量控制软件
- 可选用的附件，以增强功能性和灵活性
- 铰链式聚碳酸酯压板，可固定薄型电子器件
- 辐射仪可监测X射线泄漏
- 校准网格以确保准确性和正交性