- 非破壞性內部座標測量
- 1.5 MP CMOS 平面探測器
- 花崗岩底座確保熱穩定性和機械穩定性
- 0.1 µm 精度的平穩高速定位
- 內部幾何形狀的無損測量
- XY測量範圍選項：
710 mm x 660 mm (28英寸 x 24英寸)
1270 mm x 915 mm (50英寸 x 36英寸)
- 使用線性電機實現高速(500 mm/s)移動
- 2D測量，提供CNC和手動操作
- 光斑尺寸Ø5 µm，20 - 90 kV X射線源，用於高解析度圖像
- 穩定的花崗岩底座，確保高精度和可重複性
- 符合人體工學的工作臺，操作簡單方便
- 先進的、功能豐富的MetLogix® M3測量控制軟體
- 可選用的附件，以增強功能性和靈活性
- 鉸鏈式聚碳酸酯壓板，可固定薄型電子器件
- 輻射儀可監測X射線洩漏
- 校準網格以確保準確性和正交性