• 通过独自的3D-NRS技术,实现高精度化
• 通过采用双机头,在提高生产性能的同时,减少生产占用的空间
• 通过搭载吸取薄芯片的专用模块,可以实现高速吸取(400ms/芯片)厚度为20μm的芯片(选购件)
• 在每个机头上搭载芯片背面检测摄像机。通过共8个摄像机,实现强大的检查功能
• 可对应宽120mm,长300mm的大尺寸基板
• 贴片方式 DAF接合方式
• 贴片精度 XY:±5μm (3σ),θ:±0.05°(除了部材起因的装置精度)
• 生产性 比以前机2.5倍的能力 (根据本公司样品的理论值)
• 芯片尺寸 □0.8~25mm
• 晶圆尺寸 最大 12英寸
• 基板/引线框尺寸 宽度 40~120mm
• 长度 180~300mm
• 厚度 0.05~0.8mm
• 选购件 超薄芯片对应机构,粘贴层间膜的机构,OHT(物流自动化)对应
• 驱动源 输入电源 单相 AC 200V±5% 50/60Hz(如电压不同,需商量)
• 消费电力 最大 3.2kVA (3.2kW)
• 空气 500kPa (5kgf/cm2) ,900L/min
• 真空 -74kPa (-550mmHg)以下 (测量压)
• 机器尺寸重量 约2,280W x 1,510D x 1,670H mm 约2,300kg (不包含显示器,信号灯)