• 通過獨自的3D-NRS技術,實現高精度化
• 通過採用雙機頭,在提高生產性能的同時,減少生產佔用的空間
• 通過搭載吸取薄晶片的專用模組,可以實現高速吸取(400ms/晶片)厚度為20μm的晶片(選購件)
• 在每個機頭上搭載晶片背面檢測攝像機。通過共8個攝像機,實現強大的檢查功能
• 可對應寬120mm,長300mm的大尺寸基板
• 貼片方式 DAF接合方式
• 貼片精度 XY:±5μm (3σ),θ:±0.05°(除了部材起因的裝置精度)
• 生產性 比以前機2.5倍的能力 (根據本公司樣品的理論值)
• 晶片尺寸 □0.8~25mm
• 晶圓尺寸 最大 12英寸
• 基板/引線框尺寸 寬度 40~120mm
• 長度 180~300mm
• 厚度 0.05~0.8mm
• 選購件 超薄晶片對應機構,粘貼層間膜的機構,OHT(物流自動化)對應
• 驅動源 輸入電源 單相 AC 200V±5% 50/60Hz(如電壓不同,需商量)
• 消費電力 最大 3.2kVA (3.2kW)
• 空氣 500kPa (5kgf/cm2) ,900L/min
• 真空 -74kPa (-550mmHg)以下 (測量壓)
• 機器尺寸重量 約2,280W x 1,510D x 1,670H mm 約2,300kg (不包含顯示器,信號燈)