• 贴片精度为±20μm(3σ)(根据选择项,可对应±15um(3σ))框架搬送时采用线性驱动,可达成搬送精度的高精度化
• 搭载为了实现长时间稳定运作的自我诊断功能
• 搭载点胶机构(选择项),可对应银浆焊接(双机头)
• 通过适用芯片背面检测摄像机(选择项),实现更高精度化、更多样的检查功能
• 容易更换共晶、WBC/DAF、银浆工艺的机构(选择项)*WBC/DAF : Wafer Backside Coating/Die Attach Film
• 贴片方式 热共晶方式
• 贴片精度 XY:±20μm (3σ),θ:±3° 根据本公司贴片条件
• 机器周转时间 0.168s/芯片(平均)根据本公司贴片条件的平均时间UPH 21,000
• 引线框运送设定温度 室温~500℃(3ch控制)
• 晶圆伸展量 5~15mm(可变)
• 芯片尺寸 □0.12~1.5mm,t=0.1~0.3mm
• 晶圆尺寸 最大 8英寸
• 引线框尺寸 宽度 20~86mm (最大贴片区域=76mm)
• 长度 120~260mm (最大贴片区域=10mm)
• 厚度 0.1~0.4mm
• 选购件 料盒抓取方式
• 驱动源 输入电源 単相 AC 200V±5% 50/60Hz(如电压不同,需商量)
• 消费电力 最大 2.5kW
• 空气 400kPa (4kgf/cm2) ,260L/min 连接:φ8,Tube 2个地方
• N2气体 200kPa (2kgf/cm2) ,20L/min 连接:φ6,Tube 1个地方
• 混合气体 N2 95%+ H2 5%
• 真空 -87kPa (-650mmHg)以下 (测量压) 连接:φ8,Tube 1个地方
• 机器尺寸重量 约880W x 1,050D x 1,500H mm 约1,000kg (不包含显示器,信号灯)