固定光学或扫描仪设置
单或双处理头
工艺气体（N2，O2，Ar等）
并行处理一个或多个基板
相机自动校准
用于参考运行的自动化例程
自动化过程控制
自动视觉系统，用于精确对准和缩放，偏移，梯形和旋转补偿。
独立和生产线集成系统

精度 <+/- 10 µm abs。
<+/- 2 µm重复精度

基质
外型尺寸 高达29.5英寸x 25英寸（750毫米x 635毫米）
厚度 > 50微米
材料 PCB，陶瓷，硅，钢

可用激光 光源波长：9.4，10.6 µm（CO2）
1064、1030、532、515、355 nm
脉冲：µs，ns，ps，fs

激光光斑尺寸 10-300 µm
尺寸 2900 x 2800 x 2700 mm
重量 5000-5500公斤
电源 200-480 V
压缩干燥空气 6-7 bar
冷却水 5-20 l / min