固定光學或掃描器設置
單或雙處理頭
工藝氣體（N2，O2，Ar等）
並行處理一個或多個基板
相機自動校準
用於參考運行的自動化常式
自動化程序控制
自動視覺系統，用於精確對準和縮放，偏移，梯形和旋轉補償。
獨立和生產線集成系統

精度 <+/- 10 µm abs。
<+/- 2 µm重複精度

基質 
外型尺寸 高達29.5英寸x 25英寸（750毫米x 635毫米）
厚度 > 50微米
材料 PCB，陶瓷，矽，鋼

可用鐳射 光源波長：9.4，10.6 µm（CO2）
1064、1030、532、515、355 nm
脈衝：µs，ns，ps，fs

鐳射光斑尺寸 10-300 µm
尺寸 2900 x 2800 x 2700 mm
重量 5000-5500公斤
電源 200-480 V
壓縮乾燥空氣 6-7 bar
冷卻水 5-20 l / min