- 對象基板尺寸:L510mm×W460mm ～ L50mm×W50mm（單軌機型）※無雙軌機型
- 水準解析度（FOV尺寸）:1）25μm / 12.5μm（約50×50mm）,2）20μm / 10μm（約40×40mm）,3）15μm / 7.5μm（約30×30mm）
- 高度解析度:1μm
- 檢查項目:錫膏印刷狀態（體積、高度、面積、位置偏移）
供應商: Yamaha Motor Co., Ltd.
型號: YSi-SP
- 對象基板尺寸:L510mm×W460mm ～ L50mm×W50mm（單軌機型）※無雙軌機型
- 水準解析度（FOV尺寸）:1）25μm / 12.5μm（約50×50mm）,2）20μm / 10μm（約40×40mm）,3）15μm / 7.5μm（約30×30mm）
- 高度解析度:1μm
- 檢查項目:錫膏印刷狀態（體積、高度、面積、位置偏移）
供應商: Yamaha Motor Co., Ltd.
型號: YSi-SP
- 對象基板尺寸:L510mm×W460mm ～ L50mm×W50mm（單軌機型）※無雙軌機型
- 水準解析度（FOV尺寸）:1）25μm / 12.5μm（約50×50mm）,2）20μm / 10μm（約40×40mm）,3）15μm / 7.5μm（約30×30mm）
- 高度解析度:1μm
- 檢查項目:錫膏印刷狀態（體積、高度、面積、位置偏移）
