- 同時整合感應耦合式等離子（ICP）及中空陰極等離子（HCP）設計之高密度等離子技術。

- ICP及HCP之整合設計可確保腔體中之等離子密度，並提升處理速度。

- 採用水冷式電極設計，可確保電極表面阻抗一致性，增加制程穩定度。

- 可選擇多種制程氣體或混合氣。

- 具備多項維護簡單及低維護成本的設計。

- 高度親和力之人機界面設計。

- 針對客戶的特殊需求，該機可增加客制化設計。

- 可實施多步驟之制程參數。

- 依不同板材，可設計適用之上、下料台推車。