- 钻孔精度：±10µm (見靶鑽)/±20µm (距離補償鑽)
- 產出: 約8.5sec/panel (3孔見靶)
- 鑽靶作業設定方式:1,2,3,4,7孔,中心鑽靶/兩孔定距鑽靶、2孔定距1見靶、2孔定距1垂直(NC)/面補償/手動鑽靶
- 重覆量測誤差:≦10µm
- 漲縮管制功能
- 層偏管制功能
- 可搭载自动预对位
供應商: Abletek 浩碩
型號: ADT-900SPXP3
- 钻孔精度：±10µm (見靶鑽)/±20µm (距離補償鑽)
- 產出: 約8.5sec/panel (3孔見靶)
- 鑽靶作業設定方式:1,2,3,4,7孔,中心鑽靶/兩孔定距鑽靶、2孔定距1見靶、2孔定距1垂直(NC)/面補償/手動鑽靶
- 重覆量測誤差:≦10µm
- 漲縮管制功能
- 層偏管制功能
- 可搭载自动预对位
供應商: Abletek 浩碩
型號: ADT-900SPXP3
- 钻孔精度：±10µm (見靶鑽)/±20µm (距離補償鑽)
- 產出: 約8.5sec/panel (3孔見靶)
- 鑽靶作業設定方式:1,2,3,4,7孔,中心鑽靶/兩孔定距鑽靶、2孔定距1見靶、2孔定距1垂直(NC)/面補償/手動鑽靶
- 重覆量測誤差:≦10µm
- 漲縮管制功能
- 層偏管制功能
- 可搭载自动预对位
